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Actinic imaging and evaluation of phase structures on EUV lithography masks
EUV光刻掩模上相结构的光化成像和评估
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网址
https://escholarship.org/uc/item/8h288879.pdf
DOI
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其它 期刊：Lawrence Berkeley National Laboratory
作者：Iacopo Mochi
出版日期：2011-02-01
求助人
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