CMOS compatible monolithic multi-layer Si_3N_4-on-SOI platform for low-loss high performance silicon photonics dense integration

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标题	CMOS compatible monolithic multi-layer Si_3N_4-on-SOI platform for low-loss high performance silicon photonics dense integration 用于低损耗高性能硅光子密集集成的CMOS兼容单片多层Si_3N_4-on-SOI平台相关领域绝缘体上的硅材料科学光电子学插入损耗光子学 CMOS芯片硅光子学硅带宽（计算）等离子体增强化学气相沉积光学光学滤波器电信计算机科学物理
网址	https://doi.org/10.1364/oe.22.021859
DOI	10.1364/oe.22.021859 doi
其它	期刊：Optics Express 作者：Ying Huang; Junfeng Song; Xianshu Luo; Tsung-Yang Liow; Guo‐Qiang Lo 出版日期：2014-09-02
求助人	qiuzhuwenixian 在 2024-09-05 10:02:47 发布自北京，悬赏 10 积分
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