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 Carrier Profiling of the 10-nm-order Structure in a 3D Flash Memory Cell Using Scanning Nonlinear Dielectric Microscopy 用扫描非线性介电显微镜分析3D闪存单元中10nm级结构的载流子分布
相关领域
显微镜
电介质
钻石
仿形（计算机编程）
材料科学
闪存
非线性系统
图像分辨率
光电子学
计算机科学
光学
物理
计算机硬件
量子力学
操作系统
复合材料
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期刊：Proceedings - International Symposium for Testing and Failure Analysis 作者：Jun Hirota; Ken Hoshino; Tsukasa Nakai; Kohei Yamasue; Yasuo Cho 出版日期：2019-12-01 |
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