Simulation Study of Discharge Characteristics in Inductively Coupled Plasma

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标题	Simulation Study of Discharge Characteristics in Inductively Coupled Plasma 电感耦合等离子体放电特性的模拟研究相关领域感应耦合等离子体等离子体材料科学计算机科学物理量子力学
网址	https://doi.org/10.1109/icemce60359.2023.10490526
DOI	10.1109/icemce60359.2023.10490526 doi
其它	期刊：作者：Yang Zhao; Shanlu Gao; Xiaohua Zhou 出版日期：2023-10-20
求助人	byyyy 在 2024-07-22 16:47:02 发布自陕西，悬赏 10 积分
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