| 标题 |
 The effect of dicarboxylic acid stabilizers on tungsten chemical mechanical planarization process 二羧酸类稳定剂对钨化学机械平坦化过程的影响
相关领域
草酸
化学机械平面化
二羧酸
琥珀酸
丙二酸
化学
泥浆
无机化学
钨酸
氧化还原
钨
材料科学
高分子化学
有机化学
复合材料
图层（电子）
|
| 网址 | |
| DOI | |
| 其它 |
期刊：Colloids and Surfaces A Physicochemical and Engineering Aspects 作者：Deng Pan; Gaoyuan Ren; Jingwei Zhang; Li Wang; Shudong Wang 出版日期：2024-09-01 |
| 求助人 | |
| 下载 | 该求助完结已超 24 小时，文件已从服务器自动删除，无法下载。 |
|
温馨提示：该文献已被科研通 学术中心 收录，前往查看
科研通『学术中心』是文献索引库，收集文献的基本信息（如标题、摘要、期刊、作者、被引量等），不提供下载功能。如需下载文献全文，请通过文献求助获取。
|
海4015
寻道图强
坚强的广山
Singularity
爱静静
带头大哥
不配.
柯西
彭于彦祖
俭朴静竹
shinysparrow
陈军
互助遵法尚德
iNk
pluto
cannon8
完美的天空
tuanheqi
Phosphene
HEIKU
皖公网安备34019202002308
