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 Effects of melt depth on oxygen transport in silicon crystal growth by continuous-feeding Czochralski method 熔体深度对连续进料直拉法生长硅晶体中氧输运的影响
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期刊：Journal of Crystal Growth 作者：Jiancheng Li; Zaoyang Li; Lijun Liu; Changzhen Wang; Yuqi Jin 出版日期：2023-05-01 |
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