Phosphorus diffusion and activation in fluorine co-implanted germanium after excimer laser annealing

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标题	Phosphorus diffusion and activation in fluorine co-implanted germanium after excimer laser annealing 准分子激光退火后氟共注入锗中磷的扩散与活化相关领域材料科学退火（玻璃）掺杂剂活化准分子激光器氟掺杂剂兴奋剂锗通量分析化学（期刊）离子注入活化能化学工程激光器离子光电子学硅物理化学冶金化学光学有机化学物理工程类
网址	https://doi.org/10.1088/1674-1056/ac6db3
DOI	10.1088/1674-1056/ac6db3 doi
其它	期刊：Chinese Physics B/Chinese physics B 作者：Wang Chen; Fan Weihang; Xu Yu; Yuchao Zhang; Fan Huichen; et al 出版日期：2022-08-01
求助人	wakao 在 2024-04-13 20:32:47 发布自福建，悬赏 10 积分
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