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Improvement in performance of indium gallium oxide thin film transistor via oxygen mediated crystallization at a low temperature of 200 °C
低温下氧介导结晶提高氧化铟镓薄膜晶体管的性能
相关领域
材料科学
辉长岩
薄膜晶体管
铟
镓
阈值电压
光电子学
薄膜
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工程类
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期刊:Ceramics international 作者:Hyeong Jin Park; Taikyu Kim; Min Jae Kim; Hojae Lee; Jun Hyung Lim; et al 出版日期:2022-05-01 |
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