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 Selective, Laser-Induced Etching of Fused Silica at High Scan-Speeds Using KOH 用KOH在高扫描速度下选择性激光诱导蚀刻熔融石英
相关领域
蚀刻（微加工）
材料科学
激光器
机械加工
选择性
脉冲持续时间
各向同性腐蚀
脉搏（音乐）
过程（计算）
雕刻
光学
光电子学
直线（几何图形）
纳米技术
复合材料
冶金
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期刊：Journal of Laser Micro Nanoengineering 作者：M.E.A. Hermans; Jens Gottmann; Frank Riedel; Fraunhofer Ilt 出版日期：2014-06-01 |
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