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The generation of higher harmonics in capacitively coupled argon plasma driven by 8 MHz, 100 MHz and 8/100 MHz
8 MHz、100 MHz和8/100 MHz驱动下电容耦合氩等离子体高次谐波的产生
相关领域
谐波
物理
原子物理学
电子密度
等离子体
容性耦合等离子体
温度电子
氩
电场
电子
振幅
电压
核磁共振
感应耦合等离子体
光学
核物理学
量子力学
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其它 |
期刊:Physics Letters 作者:Qianghua Yuan; Zhaohui Liu; Guiqin Yin 出版日期:2022-10-01 |
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