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标题
Study of Properties of AlN Thin Films Deposited by Reactive Magnetron Sputtering
反应磁控溅射AlN薄膜的性能研究
相关领域
材料科学 薄膜 透射率 薄脆饼 溅射沉积 傅里叶变换红外光谱 溅射 摩尔吸收率 氮化物 表面粗糙度 分析化学（期刊） 光学 光电子学 复合材料 图层（电子） 纳米技术 化学 物理 色谱法
网址
https://doi.org/10.12785/ijtfst/030203
DOI
10.12785/ijtfst/030203 doi
其它 期刊：International Journal of Thin Films Science and Technology
作者：N. Kumari; Ashwini Kumar Singh; P.K. Barhai
出版日期：2014-04-26
求助人
蓝翔在逃叉车 在 2025-04-21 09:48:35 发布自河北，悬赏 10 积分
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