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标题
Deep reinforcement learning framework for end-to-end semiconductor process control
用于端到端半导体工艺控制的深度强化学习框架
相关领域
端到端原则 过程（计算） 强化学习 计算机科学 控制（管理） 钢筋 人工智能 心理学 社会心理学 程序设计语言
网址
https://link.springer.com/article/10.1007/s00521-024-09710-1
DOI
10.1007/s00521-024-09710-1 doi
其它 Hirtz, T., Tian, H., Shahzad, S. et al. Deep reinforcement learning framework for end-to-end semiconductor process control. Neural Comput & Applic 36, 12443–12460 (2024). https://doi.org/10.1007/s00521-024-09710-1

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Received
05 August 2023

Accepted
25 March 2024

Published
21 April 2024

Issue Date
July 2024
求助人
chen 在 2025-03-26 22:09:58 发布自浙江，悬赏 10 积分
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