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 Similarity properties in capacitive radio frequency plasmas with nonlinear collision processes 具有非线性碰撞过程的电容射频等离子体的相似性
相关领域
相似性（几何）
等离子体
电容感应
物理
氩
碰撞频率
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电子
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期刊：Plasma Sources Science and Technology 作者：Dong Yang; Yangyang Fu; Bocong Zheng; Huihui Wang; Qi Hua Fan; et al 出版日期：2021-10-12 |
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