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![]() 晶格应变和SiGe缓冲层厚度对应变Si/SiGe/Si(110)异质结构电学特性的影响
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期刊:Materials Science in Semiconductor Processing 作者:Taisuke Fujisawa; Atsushi Onogawa; Miki Horiuchi; Yuichi Sano; Chihiro Sakata; et al 出版日期:2023-03-30 |
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