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Characterising Strain/Stress and Defects in SiC Wafers Using Raman Imaging
用拉曼成像表征SiC晶片中的应变/应力和缺陷
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材料科学
薄脆饼
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期刊:Materials science forum 作者:Tim Batten; Olga Milikofu 出版日期:2015-06-30 |
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