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 Pulsed Laser Annealing of Phosphorous-Implanted 4H-SiC: Electrical and Structural Characteristics 注入磷的4H-SiC的脉冲激光退火：电学和结构特性
相关领域
材料科学
退火（玻璃）
透射电子显微镜
无定形固体
激光器
衍射
X射线晶体学
晶体结构
光电子学
结晶学
复合材料
光学
纳米技术
化学
物理
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期刊：Journal of Electronic Materials 作者：Jing-Min Wu; Zhi He; Zhiyu Guo; Run Tian; Fengxuan Wang; et al 出版日期：2021-10-18 |
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