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 CMOS-compatible low-loss silicon nitride-assisted double-etching silicon O-band edge coupler with 180-nm minimum width 最小宽度为180nm的CMOS兼容低损耗氮化硅辅助双刻蚀硅O波段边缘耦合器
相关领域
材料科学
硅
光电子学
氮化硅
蚀刻（微加工）
耦合损耗
插入损耗
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波导管
光学
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泄漏（经济）
纳米技术
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