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 Stress minimization of corner rounding process during STI STI过程中圆角过程的应力最小化
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期刊：Proceedings of SPIE, the International Society for Optical Engineering/Proceedings of SPIE 作者：Christopher S. Olsen; Faran Nouri; Mark E. Rubin; Olivier Laparra; G. Scott 出版日期：1999-09-01 |
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