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 Ablation characteristics on silicon from ultrafast laser radiation containing single MHz and GHz burst pulses MHz和GHz单脉冲超快激光对硅的烧蚀特性
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期刊：Applied Physics A 作者：Daniel Metzner; Peter Lickschat; Andy Engel; Thomas Lampke; Steffen Weißmantel 出版日期：2022-07-30 |
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