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Silicon deposition from silane or disilane in a fluidized bed—Part I: Experimental study
流化床中硅烷或二硅烷的硅沉积。第一部分：实验研究
相关领域
硅烷 流化床 二硅烷 硅 集聚经济 化学工程 沉积（地质） 硅烷 材料科学 化学气相沉积 化学 纳米技术 冶金 有机化学 工程类 古生物学 生物 沉积物
网址
https://doi.org/10.1016/0009-2509(95)00172-2
DOI
10.1016/0009-2509(95)00172-2 doi
其它 期刊：Chemical Engineering Science
作者：Brigitte Caussat; M. Hémati; J.P. Couderc
出版日期：1995-11-01
求助人
宋芝恬 在 2025-01-08 16:02:39 发布自北京，悬赏 10 积分
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