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标题
Highly hydrophobic metal–organic framework for self-protecting gate dielectrics
用于自保护栅极电介质的高疏水金属有机骨架
相关领域
微电子 电介质 材料科学 栅极电介质 高-κ电介质 铜 金属 纳米技术 光电子学 晶体管 电气工程 冶金 工程类 电压
网址
https://doi.org/10.1039/d0ta00605j
DOI
10.1039/d0ta00605j doi
其它 期刊：Journal of Materials Chemistry A
作者：Arif I. Inamdar; Abhishek Pathak; Muhammad Usman; Kuan‐Ru Chiou; Pei-Hsien Tsai; et al
出版日期：2020-01-01
求助人
Juvigate 在 2025-01-07 17:08:31 发布自湖北，悬赏 10 积分
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