Giant Piezoelectricity on Si for Hyperactive MEMS

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标题	Giant Piezoelectricity on Si for Hyperactive MEMS 用于超活跃MEMS的硅上巨压电相关领域压电微电子机械系统心理学材料科学物理纳米技术声学
网址	https://doi.org/10.1126/science.1207186 AI链接 nih.govdoi.org
DOI	10.1126/science.1207186 doi
其它	期刊：Science 作者：Seung‐Hyub Baek; Jae K. Park; D. M. Kim; Vladimir Aksyuk; R. R. Das; et al 出版日期：2011-11-17
求助人	JunHan 在 2024-11-04 13:21:36 发布自江苏，悬赏 10 积分
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