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标题
Giant Piezoelectricity on Si for Hyperactive MEMS
用于超活跃MEMS的硅上巨压电
相关领域
压电 微电子机械系统 心理学 材料科学 物理 纳米技术 声学
网址
DOI
10.1126/science.1207186 doi
其它 期刊:Science
作者:Seung‐Hyub Baek; Jae K. Park; D. M. Kim; Vladimir Aksyuk; R. R. Das; et al
出版日期:2011-11-17
求助人
JunHan 在 2024-11-04 13:21:36 发布自江苏,悬赏 10 积分
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  • 17天前,求助关闭

    JunHan JunHan 求助人 Lv14 关闭了本次求助。

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  • 17天前

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  • 17天前

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