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 Modulation of the plasma radial uniformity in pulsed dual-antenna inductively coupled plasmas 脉冲双天线电感耦合等离子体中等离子体径向均匀性的调制
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期刊：Physics of Plasmas 作者：Chang Lu; Jia-Wei Huang; Yuru Zhang; Fei Gao; You‐Nian Wang 出版日期：2023-06-01 |
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