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标题
Influence of resin properties to resist performance at ArF lithography
树脂性能对ArF光刻抗蚀性能的影响
相关领域
分散性 抵抗 材料科学 单体 聚合物 摩尔质量分布 平版印刷术 分数（化学） 复合材料 表面光洁度 高分子化学 化学工程 分析化学（期刊） 化学 色谱法 图层（电子） 工程类 光电子学
网址
https://doi.org/10.1117/12.533950
DOI
10.1117/12.533950 doi
其它 期刊：Proceedings of SPIE, the International Society for Optical Engineering/Proceedings of SPIE
作者：S.Y. Yoon; Myungsun Kim; Hong Lee; Do Young Kim; Young Hoon Kim; et al
出版日期：2004-05-14
求助人
平常从蓉 在 2024-11-09 08:59:01 发布自广东，悬赏 20 积分
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