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High quality AlN film grown on a nano-concave-circle patterned Si substrate with an AlN seed layer
在具有AlN种子层的纳米凹圆图案Si衬底上生长高质量AlN薄膜
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期刊:Applied Physics Letters 作者:Jianfei Shen; Xuelin Yang; Danshuo Liu; Zidong Cai; Lai Wei; et al 出版日期:2020-07-14 |
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