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标题
Implicit function characterization of the curvilinear mask to realize parametric optical proximity correction with a neighborhood parallel tabu search
用邻域并行禁忌搜索实现参数光学邻近校正的曲线掩模隐函数表征
相关领域
曲线坐标 光学接近校正 禁忌搜索 计算机科学 参数统计 算法 像素 光学 平版印刷术 数学 计算机视觉 物理 几何学 统计
网址
https://doi.org/10.1364/ao.490229
AI链接 nih.govdoi.org
DOI
10.1364/ao.490229 doi
其它 期刊：Applied Optics
作者：Pengzhi Wei; Yanqiu Li; Zhaoxuan Li; Yuan Miao; Yang He
出版日期：2023-05-18
求助人
勤劳怜寒 在 2025-01-16 14:27:09 发布自四川，悬赏 10 积分
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