Synthesis of ALD Tungsten Trioxide Thin Films from W(CO)6 and H2O Precursors

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标题	Synthesis of ALD Tungsten Trioxide Thin Films from W(CO)6 and H2O Precursors W（CO）6和H2O前驱体合成ALD三氧化钨薄膜相关领域原子层沉积三氧化钨薄膜材料科学电致变色化学气相沉积物理气相沉积钨沉积（地质）三元运算纳米技术化学工程化学电极物理化学冶金古生物学沉积物生物计算机科学工程类程序设计语言
网址	https://doi.org/10.1149/ma2015-02/26/1001
DOI	10.1149/ma2015-02/26/1001 doi
其它	期刊：Meeting abstracts/Meeting abstracts (Electrochemical Society. CD-ROM) 作者：Kai Zhang; Christopher McCleese; Pengtao Lin; Xin Chen; Mónica Morales; et al 出版日期：2015-07-07
求助人	闫伯涵在 2024-10-23 14:04:18 发布自中国，悬赏 10 积分
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