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 Demonstration of lateral epitaxial growth of AlN on Si (1 1 1) at low temperatures by pulsed reactive sputter epitaxy 脉冲反应溅射外延低温下AlN在Si（1 1 1）上横向外延生长的演示
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期刊：Journal of Crystal Growth 作者：Florian Hörich; Ralf Borgmann; J. Bläsing; Gordon Schmidt; Peter Veit; et al 出版日期：2021-07-14 |
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