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  Fabrication of sharp silicon hollow microneedles by deep-reactive ion etching towards minimally invasive diagnostics 用于微创诊断的深反应离子刻蚀制备锋利硅空心微针
相关领域
深反应离子刻蚀
材料科学
制作
薄脆饼
蚀刻（微加工）
反应离子刻蚀
钝化
纳米技术
微操作器
毛细管作用
黑硅
硅
光电子学
生物医学工程
复合材料
计算机科学
图层（电子）
替代医学
人工智能
病理
医学
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期刊：Microsystems & Nanoengineering 作者：Yan Li; Hang Zhang; Ruifeng Yang; Yohan Laffitte; Ulises Schmill; et al 出版日期：2019-08-25 |
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