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  Towards lowering energy consumption during magnetron sputtering: Benefits of high-mass metal ion irradiation 降低磁控溅射过程中的能耗：高质量金属离子辐照的好处
相关领域
高功率脉冲磁控溅射
材料科学
溅射
溅射沉积
光电子学
辐照
离子
薄膜
纳米技术
化学
核物理学
物理
有机化学
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| 其它 |
期刊：Journal of Applied Physics 作者：Grzegorz Greczyński; Lars Hultman; I. Petrov 出版日期：2023-10-09 |
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