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标题
P‐97: Improved Electrical Performance and Realiability of a‐IGZO TFT by N2O Plasma Treatment Optimization
P-97:通过N2O等离子体处理优化改善a-IGZO TFT的电性能和可靠性
相关领域
薄膜晶体管 等离子体 材料科学 光电子学 纳米技术 物理 图层(电子) 量子力学
网址
DOI
10.1002/sdtp.17914 doi
其它 期刊:SID Symposium Digest of Technical Papers
作者:Hyojung Kim; Hyesun Sung; Seung Bo Shim; Dooyoul Lee
出版日期:2024-06-01
求助人
简择两 在 2025-03-20 13:46:12 发布自重庆,悬赏 10 积分
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