Development of silicon photonics process using UV nanoimprinting

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标题	Development of silicon photonics process using UV nanoimprinting 紫外纳米压印硅光子学工艺的发展相关领域硅光子学硅光子学过程（计算）材料科学计算机科学纳米技术光电子学操作系统
网址	https://doi.org/10.1117/12.3042753
DOI	10.1117/12.3042753 doi
其它	期刊：作者：Shuichi Nagamatsu; Ryoichi Mori; Yasushi Fujii; Takahiro Asai; Yuki Atsumi; et al 出版日期：2025-01-24
求助人	Henry 在 2025-03-20 10:18:33 发布自广东，悬赏 20 积分
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