Extreme Ultraviolet (EUV) Emission Measurement from a Coaxially Focused Plasma for Various Pressures of an Argon and Ne-Xe Gas Mixture

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标题	[高分] Extreme Ultraviolet (EUV) Emission Measurement from a Coaxially Focused Plasma for Various Pressures of an Argon and Ne-Xe Gas Mixture 氩和Ne-Xe气体混合物不同压力下同轴聚焦等离子体的极紫外（EUV）发射测量相关领域极紫外光刻极端紫外线氩等离子体材料科学紫外线原子物理学光学物理光电子学激光器核物理学
网址	https://doi.org/10.3938/jkps.59.3542
DOI	10.3938/jkps.59.3542 doi
其它	期刊：Journal of the Korean Physical Society 作者：Sung Hee Lee; Young Joon Hong; Han S. Uhm; Duk In Choi; Eun Ha Choi 出版日期：2011-12-15
求助人	chaohuiwang 在 2025-03-07 08:33:11 发布自吉林，悬赏 50 积分
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