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Effect of Pulse Duration on Formation of Ultrashallow Junction by Excimer Laser Annealing
脉冲宽度对准分子激光热处理形成超浅结的影响
相关领域
材料科学
脉冲持续时间
准分子激光器
退火(玻璃)
激光器
热扩散率
光电子学
光学
复合材料
热力学
物理
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其它 |
期刊:Japanese Journal of Applied Physics 作者:Akira Matsuno; Kentaro Shibahara 出版日期:2006-11-01 |
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