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 Effect of water flow rate on properties of zinc oxide thin films prepared using spatial atomic layer deposition 水流速对空间原子层沉积氧化锌薄膜性能的影响
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期刊：Thin Solid Films 作者：Peng Geng; Chia‐Hsun Hsu; Ming-Jie Zhao; Wan-Yu Wu; Yi-Jui Chiu; et al 出版日期：2022-06-01 |
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