Lithographic, Photochemical And O 2 RIE Properties Of Three Polysilane Copolymers - 科研通

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标题	Lithographic, Photochemical And O 2 RIE Properties Of Three Polysilane Copolymers 三种聚硅烷共聚物的光刻、光化学和O2 RIE性能相关领域聚硅烷共聚物平版印刷术材料科学光化学光电子学聚合物化学复合材料
网址	https://doi.org/10.1117/12.968329
DOI	10.1117/12.968329 doi
其它	期刊：Proceedings of SPIE, the International Society for Optical Engineering/Proceedings of SPIE 作者：G.W. Taylor; M. Y. Hellman; Thomas M. Wolf; John M. Zeigler 出版日期：1988-01-01
求助人	嘻yyy 在 2024-06-04 16:50:57 发布自广东，悬赏 20 积分
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