Al2O3/SiNx stacks with ozone-based ALD Al2O3 for surface passivation: Superior layer stability after firing

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标题	Al2O3/SiNx stacks with ozone-based ALD Al2O3 for surface passivation: Superior layer stability after firing Al2O3/SiNx叠层与臭氧基ALD Al2O3表面钝化：烧制后层稳定性好相关领域钝化材料科学图层（电子）原子层沉积理论（学习稳定性）臭氧光电子学纳米技术计算机科学气象学物理机器学习
网址	https://doi.org/10.1063/5.0090639
DOI	10.1063/5.0090639 doi
其它	期刊：Nucleation and Atmospheric Aerosols 作者：Elif Sarıgül Duman; Armin Richter; Christian Reichel; Jens Fittkau; Christiane Le Tiec; et al 出版日期：2022-01-01
求助人	zhengling 在 2024-05-07 08:47:35 发布自陕西，悬赏 10 积分
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