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 Analysis and compensation for nonlinearity of sandwich MEMS capacitive accelerometer induced by fabrication process error 夹层式MEMS电容式加速度计制造误差引起的非线性分析与补偿
相关领域
加速度计
电容
微电子机械系统
电容感应
非线性系统
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计算机科学
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精神分析
病理
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操作系统
医学
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替代医学
量子力学
控制（管理）
电极
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