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 Temperature Sensing for MEMS Sensors: A Review, and Chances for the Frequency-Control Community MEMS传感器的温度传感：频率控制界的回顾和机遇
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期刊：2022 Joint Conference of the European Frequency and Time Forum and IEEE International Frequency Control Symposium (EFTF/IFCS) 作者：Giacomo Langfelder; Paolo Frigerio 出版日期：2023-05-15 |
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