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标题
As-received, ozone cleaned and Ar+ sputtered surfaces of hafnium oxide grown by atomic layer deposition and studied by XPS
原子层沉积生长氧化铪的原样、臭氧清洗和Ar+溅射表面及XPS研究
相关领域
X射线光电子能谱 溅射 分析化学（期刊） 结合能 原子层沉积 臭氧 沉积（地质） 氧化物 材料科学 图层（电子） 化学 薄膜 原子物理学 纳米技术 化学工程 冶金 环境化学 工程类 生物 古生物学 物理 有机化学 沉积物
网址
https://pubs.aip.org/avs/sss/article-abstract/18/1/46/366891...
DOI
10.1116/11.20100601 doi
求助人
木华 在 2024-12-14 10:16:21 发布自北京，悬赏 10 积分
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