标题 |
Micro-Raman to detect stress phenomena in Si-chips bonded onto Cu substrates
用显微拉曼技术检测键合到铜衬底上的硅芯片中的应力现象
相关领域
材料科学
拉曼光谱
光电子学
硅
纳米技术
压力(语言学)
光学
语言学
物理
哲学
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其它 |
期刊:Society of Photo-Optical Instrumentation Engineers (SPIE) Conference Series 作者:Jacopo Pascucci; Fosca Conti; Sri Krishna Bhogaraju; Raffaella Signorini; E. Liu; et al 出版日期:2021-04-12 |
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