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标题
Investigation on liquid medium integration for piezoelectric MEMS tunable liquid lenses
压电MEMS可调谐液体透镜的液体介质集成研究
相关领域
微电子机械系统 压电 材料科学 液体介质 光电子学 光学 复合材料 工程类 化学工程 物理
网址
https://doi.org/10.1016/j.sna.2024.115732
DOI
10.1016/j.sna.2024.115732 doi
其它 期刊：Sensors and Actuators A Physical
作者：Zhengnan Tang; Andrea Vergara; Taiyu Okatani; Yukio Suzuki; Shuji TANAKA
出版日期：2024-07-27
求助人
mgg 在 2025-01-12 09:12:33 发布自浙江，悬赏 10 积分
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