RuleLearner: OPC Rule Extraction From Inverse Lithography Technique Engine

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标题	RuleLearner: OPC Rule Extraction From Inverse Lithography Technique Engine RuleLearner：从逆光刻技术引擎提取OPC规则相关领域反向平版印刷术萃取（化学）逆方法材料科学数学光电子学应用数学化学色谱法几何学
网址	https://doi.org/10.1109/tcad.2024.3499909
DOI	10.1109/tcad.2024.3499909 doi
其它	期刊：IEEE Transactions on Computer-Aided Design of Integrated Circuits and Systems 作者：Ziyang Yu; Su Zheng; Wenqian Zhao; Shuo Yin; Xiaoxiao Liang; et al 出版日期：2024-01-01
求助人	勤劳怜寒在 2025-01-10 16:21:48 发布自四川，悬赏 10 积分
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