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 Data-driven based cross-coupling compensation method for the piezoelectric tube scanner of atomic force microscopes 基于数据驱动的原子力显微镜压电管扫描仪交叉耦合补偿方法
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期刊：Measurement 作者：Yixuan Meng; Linlin Li; Xiangyuan Wang; Xinquan Zhang; Limin Zhu 出版日期：2023-07-04 |
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