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标题
Identification and quantification of FOUP molecular contaminants inducing defects in integrated circuits manufacturing
集成电路制造中引起缺陷的FOUP分子污染物的识别和定量
相关领域
污染 薄脆饼 材料科学 干法蚀刻 剥离（纤维） 环境化学 半导体器件制造 蚀刻（微加工） 纳米技术 化学 复合材料 生态学 生物 图层（电子）
网址
https://doi.org/10.1016/j.mee.2012.04.008
DOI
10.1016/j.mee.2012.04.008 doi
其它 期刊：Microelectronic Engineering
作者：Thi Quynh Nguyen; Hervé Fontaine; Yannick Borde; Véronique Jacob
出版日期：2012-05-17
求助人
丛林 在 2024-11-24 00:35:29 发布自中国，悬赏 10 积分
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