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![]() 纳米复合SiOxNy(Si)和SiAlzOxNy(Si)薄膜的结构和导电性
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期刊:Journal of Alloys and Compounds 作者:A. Evtukh; A. Kizjak; O. Bratus’; M. Voitovych; V. Romanyuk; et al 出版日期:2023-10-01 |
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