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标题
Structure and electrical conductivity of nanocomposite SiOxNy(Si) and SiAlzOxNy(Si) films
纳米复合SiOxNy(Si)和SiAlzOxNy(Si)薄膜的结构和导电性
相关领域
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网址
DOI
10.1016/j.jallcom.2023.170879 doi
其它 期刊:Journal of Alloys and Compounds
作者:A. Evtukh; A. Kizjak; O. Bratus’; M. Voitovych; V. Romanyuk; et al
出版日期:2023-10-01
求助人
吉特 在 2025-02-07 20:33:54 发布自山东,悬赏 10 积分
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