标题 |
The Effect of RF Sputtering Power on Structural, Nanomechanical and Tribological Properties of Single Layered TaN Coatings
射频溅射功率对单层TaN涂层结构、纳米力学和摩擦学性能的影响
相关领域
摩擦学
材料科学
溅射
复合材料
光电子学
纳米技术
薄膜
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DOI | |
其它 |
期刊:Surface topography 作者:Vivek Singh; Rajesh Kumar Sharma; Rakesh Sehgal; M.F. Wàňi 出版日期:2024-06-24 |
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