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标题
Development of mechanically-robust piezoelectric micromachined ultrasonic transducer based on island-shaped monocrystalline PZT thin film partially covered with polyimide
基于部分覆盖聚酰亚胺的岛状单晶PZT薄膜的机械鲁棒压电微机械超声换能器的研制
相关领域
材料科学 压电 聚酰亚胺 PMUT公司 稳健性（进化） 传感器 超声波传感器 单晶硅 复合材料 薄膜 图层（电子） 声学 光电子学 硅 纳米技术 生物化学 化学 物理 基因
网址
http://dx.doi.org/10.1088/1361-6439/abc52f
DOI
10.1088/1361-6439/abc52f doi
求助人
风中的夕阳 在 2024-12-22 22:37:30 发布自美国，悬赏 10 积分
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