Atomic layer deposition of ZnO: a review

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标题	Atomic layer deposition of ZnO: a review ZnO原子层沉积研究进展相关领域原子层沉积微电子薄膜纳米技术材料科学原子层外延制作图层（电子）沉积（地质）光电子学纳米结构生物沉积物病理古生物学医学替代医学
网址	https://doi.org/10.1088/0268-1242/29/4/043001
DOI	10.1088/0268-1242/29/4/043001 doi
其它	期刊：Semiconductor Science and Technology 作者：Tommi Tynell; Maarit Karppinen 出版日期：2014-02-26
求助人	54 在 2024-11-12 17:03:19 发布自湖北，悬赏 10 积分
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