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 Thin Layer Deposition of a-Si: H n-Type Hydrogenated Amorphous Silicon using PECVD PECVD薄膜沉积a-Si：Hn型氢化非晶硅
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材料科学
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期刊：Journal of Science and Informatics for Society (JSIS) 作者：Soni Prayogi 出版日期：2023-02-02 |
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